Park NX20 原子間力顕微鏡
- 故障解析と半導体、ハードディスクなどの研究に最適な正確性の高いAFM
- 200mmおよび300mmウェハー等、大型試料の測定のためのナノ分析ツール
- 高解像度の電気特性測定および欠陥検査

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